一桥半导体科技(苏州)有限公司
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冈本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化镓晶圆减薄抛光一体机
冈本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化镓晶圆减薄抛光一体机的图片
参考报价:
面议
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25
样本:
暂无
型号:
GNX200BP
产地:
日本
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暂无
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名 称:一桥半导体科技(苏州)有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

GNX200BH

1、GNX200BH是一台可研磨超硬材料的全自动减薄设备,采用大功率主轴和高刚性铸件,可以大幅缩小加工公差。

2、GNX200BH在应对SiC碳化硅晶圆、GaN氮化镓晶圆等新型坚硬材料为原材料的晶圆减薄/研磨/研削时表现优秀。    

性能参数

项目GNX200BH
主轴双研磨主轴,主轴刚性比200B强两倍
工作盘三个工作盘
晶圆材质碳化硅、氮化镓、硅、玻璃、微机械系统、等…
主轴电机功率6.7KW
设备尺寸(本体)1350 W x 2550 D x 1845 H(mm)
设备尺寸(真空泵)397 W x 755 D x 612 H (mm)
设备重量本体 4300 Kg ; 真空泵 100 Kg

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